사이버옵틱스 , 신제품 ‘ 레티클센스 에어본 파티클 센서 쿼츠 ’ 발표
– 반도체 팹 내 ASML, 니콘 , 캐논 스캐너과 호환되는 쿼츠 하우징
– ‘ 세미콘 코리아 2015’(SEMICON Korea 2015)
(미디어원=정인태 기자) 세미콘 코리아는 2015 년 2 월 4~6 일 코엑스에서 진행되는 ‘ 세미콘 코리아 ’(SEMICON Korea, www.semiconkorea.org/en) 에 부스 (2857 번 ) 를 마련하고 레티클센스 (ReticleSense®) 무선 측정 포트폴리오의 신제품을 발표할 예정이다 . 새로 선보일 ‘ 레티클 에어본 파티클 센서 쿼츠 ’(Airborne Particle Sensor Quartz, 약칭 APSRQ) 는 쿼츠 레티클을 다루는 반도체 장비에서 사용할 수 있도록 석영유리 재질의 하우징을 갖추고 있다 . 신제품에는 전 세계 주문자상표부착생산 (OEM) 업체와 반도체 팹에서 수율과 장비 업타임을 높이고자 널리 사용되고 있는 사이버옵틱스의 입자 센서 기술과 동일한 기술이 적용돼 있다 .
반도체 팹의 스캐너 용도로 설계 , 개발된 ‘ 레티클센스 APSRQ’ 는 ASML, 니콘 (Nikon) 및 캐논 (Canon) 스캐너와 호환되는 데 필요한 모든 정렬 마크와 바코드를 구비하고 있다 . APSRQ 는 쿼츠 레티클과 마찬가지로 스캐너에 직접 장착할 수 있으며 전 레티클 경로를 따라 입자의 발생 시간과 위치를 실시간으로 검출할 수 있다 .
페리스 첸 (Ferris Chen) 사이버옵틱스 글로벌 영업 담당 이사는 “ 인 – 시투 또는 핸드헬드 방식의 기존 스캔 레티클로 표면 스캔 오염원을 신속히 식별하기란 쉽지 않았다 ” 며 “ 또한 이 같은 방식은 실시간 피드백이 없어 예상하지 못한 입자 소스가 검출되지 않은 채 진행되거나 최종 식별까지 오랜 시간이 소요되곤 했다 ” 고 말했다 . 이어 “APSRQ 는 레티클 환경에서 신속한 입자 검증을 지원한다 ” 며 “APSRQ 기술은 긴 입자 소스 문제 해결을 위해 고가의 스캐너를 오프라인으로 반입해야 하는 복수의 표면 검사 레티클로 시간이 소요되는 분할 작업을 덜어준다 ” 고 설명했다 . 그는 “ 제품 라인에 쿼츠 에어본 파티클 센서를 추가함으로써 고객들이 포토 리소그래피 (Photo Lithography) 스캐너 환경에서 제조 품질과 생산성 기준을 뛰어 넘을 수 있도록 돕게 됐다 ” 고 덧붙였다 .
웨이퍼센스 (WaferSense®) 와 레티클센스 에어본 파티클 센서는 장비 엔지니어가 장비 검증 , 제품 출시 및 유지보수 주기까지 소요되는 시간을 단축시키는 동시에 비용을 절감할 수 있도록 뒷받침한다 . 고객들은 시간과 비용을 각각 최대 88%, 95% 까지 줄이는 한편 , 웨이퍼센스나 레티클센스 센서를 이용해 기존의 표면 검사 웨이퍼 방식에 비해 절반의 인력으로 처리량을 최대 20 배까지 높이는 성과를 거두고 있다 .
